Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas. 2000.
Fotomaskenauflösungsvermögen — fotokaukės skyra statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. photomask resolution vok. Fotomaskenauflösungsvermögen, n rus. разрешающая способность фотошаблона, f pranc. résolution de photomasque, f … Radioelektronikos terminų žodynas
fotokaukės skyra — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. photomask resolution vok. Fotomaskenauflösungsvermögen, n rus. разрешающая способность фотошаблона, f pranc. résolution de photomasque, f … Radioelektronikos terminų žodynas
photomask resolution — fotokaukės skyra statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. photomask resolution vok. Fotomaskenauflösungsvermögen, n rus. разрешающая способность фотошаблона, f pranc. résolution de photomasque, f … Radioelektronikos terminų žodynas
résolution de photomasque — fotokaukės skyra statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. photomask resolution vok. Fotomaskenauflösungsvermögen, n rus. разрешающая способность фотошаблона, f pranc. résolution de photomasque, f … Radioelektronikos terminų žodynas
ФОТОЛИТОГРАФИЯ — способ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Ф. обычно включает: 1) нанесение фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник методами центрифугирования, напыления или возгонки; 2) сушку фоторезиста… … Химическая энциклопедия
